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003 SIRSI
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200 1 _aCAPACITES METAL-ISOLANT-SEMICONDUCTEURS(MIS) SUR GaAs
_bTHESE/
_fDBAGHI Mourad
328 0 _bDESA
_d2005
330 _aDans ce mémoire nous avons présenté une technique de passivation de GaAs basée sur la déposition par PECVD basse fréquence d’une couche mince de nitrure de silicium. Si les travaux publiés sur la passivation des III-V par déposition PECVD de Si3N4 ont mis
345 _b422
606 1 _aPHYSIQUE
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700 1 _aDBAGHI,
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_fM. MOUSSETAD & R. ADHIRI & A. RIDAH & B. HARTITI et S. OUASKIT
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