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_aCAPACITES METAL-ISOLANT-SEMICONDUCTEURS(MIS) SUR GaAs _bTHESE/ _fDBAGHI Mourad |
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328 | 0 |
_bDESA _d2005 |
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330 | _aDans ce mémoire nous avons présenté une technique de passivation de GaAs basée sur la déposition par PECVD basse fréquence d’une couche mince de nitrure de silicium. Si les travaux publiés sur la passivation des III-V par déposition PECVD de Si3N4 ont mis | ||
345 | _b422 | ||
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_aPHYSIQUE _x |
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_aDBAGHI, _bMourad |
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